Page 46 - 能量採集技術開啟醫療應用新局

DESIGN IDEAS
影響薄膜可靠度的殘餘應力 分析
力，再經過後續CMP製程的研磨， 當局部有較大的應力集中時，極可 能發生剝離或破裂的現象，因此就 很需要了解其存在的殘留應力。
度位移量(Δ2θ)的分析應變手法， 搭配一個常用的數學模式(sin2ψ method)，即可求出殘餘應力。
當Low-k與金屬膜材料重複 堆疊且經過多次不同的製程條件 後，就需確認薄膜受到的應力是 否改變;尤其在薄膜厚度不同，堆 疊薄膜密度的差異，就會產生內應
薄膜在經過不同的堆疊，晶 格平面間距會受到擠壓或拉伸， 因此可以透過XRD量測繞射峰角
如圖8為Ru薄膜分別採用兩 種不同的成長製程後，使用XRD 分析Δ2θ後，所計算出來的殘餘應 力，其中圖8(上)為樣品A，求得的 是2.06GPa的張應力(Tensile)， 圖8(下)為樣品B，則是相對較小 的0.83GPa張應力。
圖8:XRD分析兩種Ru薄膜殘餘應力的結果比較。
(資料來源:Integrated Service Technology, Inc)
總括以上XRD與XRR在先進 IC後段製程研發的助益之外，另 外在前段的磊晶製程上可以經由 HRXRD的分析技術，進行搖擺曲 線(Rocking curve)，或是倒晶格 空間分佈圖(RSM)的結晶品質分 析;其他諸如contact矽化物的結 晶相、化合物薄膜結晶性與優選 方向、多晶薄膜的殘餘應力，甚至 多層薄膜厚度、粗糙度與密度等， 都可以透過XRD相關分析技術尋 求解答。
機器人高性能馬達控制設計指南
作者:Maurizio Di Paolo Emilio，Power Electronics News 主編
設計人員可在三軸或更多軸上對機 械手臂進行程式設計，從而指定機 器人(機械手臂或本體)的動作。這 些機械手臂無需進行物理修改即 可實現自動控制和重新編程，並且 能適應控制系統的不同應用。工業 系統最初設計用於處理惡劣或人跡 罕至的環境中應用，如今它們變得 越來越複雜，並整合了機器人，因
44 www.edntaiwan.com
此能夠以比人類更精確和更快的 方式執行許多以前的手動操作。
因此，驅動單元的功能是確保 馬達和負載的速度和扭矩相容，並 能夠將機械扭矩從一個轉移到另 一個。傳動元件還可以將馬達放置 在機器人底座，以減輕機械結構的 重量，從而提高靜態和動態性能。
機器人系統主要由四個子系 統組成:機械、致動器、測量和控 制。關鍵挑戰之一在於關節運動 控制對低速和高扭矩的要求，與 有效利用伺服馬達的機械特性相 悖——後者在最佳操作條件下將 會產生高速和低扭矩。
關節運動採用馬達實現，可使 機械結構獲得所需的動作。在永磁 馬達、直流(有刷)馬達和電子換向