Page 3 - 材料分析層層把關先進製程設備零缺陷
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封面特寫
18 材料分析層層把關
先進製程設備零缺陷
影響先進製程生產良率的關鍵之一在於黃光製程的曝光設 備。EUV曝光機所使用的光罩上，即使是微小的顆粒也會導致 整片晶圓上的所有晶片形成固定缺陷，致使整片晶圓良率直接歸 「零」，這在製程中絕對是零容忍...
23 工業物聯網——結合AI和IoT的智慧製造應用 在數位化轉型過程中，如何串連IoT、感測器、雲端運算以 及AI與大數據分析等技術，打造高度自動化與智動化的工 業物聯網應用...
EDN評論
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03 PCB設計之路已走到盡頭了嗎?
在PCB設計的道路上有一處三叉口:一條路通向死胡同;中 間的路徑朝向緩慢、穩定且漸進的發展;最後一條路則是 某種革命性的途徑...
技術脈動
06 自駕車也需要能「耳聽八方」? 在嚴重交通事故等緊急情況下，如果駕駛人能夠聽到遠方
響起的警笛聲，為什麼自動駕駛車不能也這樣做呢?
08 如果被動元件遵循摩爾定律... 哪些應用可能透過超微型電感器而使RF電路設計和佈局更
加容易?
10 協作機器人是你的新同事嗎?
如果機器人能在工廠中承擔所有繁重和危險的任務，使工 作更安全、更高效，那會怎樣呢?
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